Atomic layer deposition method

WO2022064849 Art A1 31. März 2022

Anmelder: MEIDENSHA CORPORATION 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2022064849
Aktenzeichen
EP21871981
Anmeldetag
2. August 2021
Veröffentlichung
31. März 2022
Rechtsraum
WO
IPC
C23C16/455C23C16/54H01L21/31H01L21/316
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
MEIDENSHA CORPORATION
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Meidensha

Meidensha ist ein japanischer Hersteller elektrischer Anlagen und Maschinen, unter anderem für Energieversorgung, Bahntechnik und Industrieanwendungen. Das Patentportfolio konzentriert sich auf elektrische Energietechnik sowie Mess-, Prüf- und Zeitmesstechnik, ergänzt durch Halbleiter und elektrische Bauelemente. Anmeldungen laufen durchgehend von 2004 bis 2025.

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