Atomic layer deposition method
WO2022064849
Art A1
31. März 2022
Anmelder: MEIDENSHA CORPORATION 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO2022064849
- Aktenzeichen
- EP21871981
- Anmeldetag
- 2. August 2021
- Veröffentlichung
- 31. März 2022
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- C23C16/455C23C16/54H01L21/31H01L21/316
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- MEIDENSHA CORPORATION
- Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Meidensha
Meidensha ist ein japanischer Hersteller elektrischer Anlagen und Maschinen, unter anderem für Energieversorgung, Bahntechnik und Industrieanwendungen. Das Patentportfolio konzentriert sich auf elektrische Energietechnik sowie Mess-, Prüf- und Zeitmesstechnik, ergänzt durch Halbleiter und elektrische Bauelemente. Anmeldungen laufen durchgehend von 2004 bis 2025.
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