Radiation-sensitive resin composition, pattern forming method and onium salt compound

WO2022065090 Art A1 31. März 2022

Anmelder: JSR CORPORATION 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2022065090
Aktenzeichen: EP21872220
Anmeldetag: 10. September 2021
Veröffentlichung: 31. März 2022
Rechtsraum: WO
IPC: C07C59/115C07C381/12C08F220/12C09K3/00G03F7/004G03F7/038G03F7/039G03F7/20

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: JSR CORPORATION
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 JSR Corporation

JSR Corporation ist ein japanisches Chemieunternehmen, das synthetische Kautschuke sowie Materialien für die Halbleiter- und Displayindustrie herstellt.

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Fachgebiete

Farben, Klebstoffe & Brennstoffe Kunststoff- & Polymertechnik Optik & Fototechnik Organische Chemie

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