Parameter sensing and computer modeling for gas delivery health monitoring

WO2022066657 Art A1 31. März 2022

Anmelder: APPLIED MATERIALS, INC. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2022066657
Aktenzeichen: EP21873288
Anmeldetag: 21. September 2021
Veröffentlichung: 31. März 2022
Rechtsraum: WO
IPC: G05B23/02G05B13/04G06N20/00C23C16/448C23C16/52

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: APPLIED MATERIALS, INC.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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Fachgebiete

Metallurgie & Oberflächentechnik Software & Datenverarbeitung Steuerungs- & Regelungstechnik

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