Method to produce a structured transmissive optical element

WO2022069019 Art A1 7. April 2022

Anmelder: CARL ZEISS SMT GMBH, ASML NETHERLANDS B.V. 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2022069019
Aktenzeichen: EP20781522
Anmeldetag: 29. September 2020
Veröffentlichung: 7. April 2022
Rechtsraum: WO
IPC: G03F1/34G02B5/18

Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firmen: CARL ZEISS SMT GMBH
ASML NETHERLANDS B.V.
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

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🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik

Vertreten von