Achromatic Optical Relay Arrangement

WO2022069218 Art A1 7. April 2022

Anmelder: ASML NETHERLANDS B.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2022069218
Aktenzeichen
EP21777512
Anmeldetag
15. September 2021
Veröffentlichung
7. April 2022
Rechtsraum
WO
IPC
G02B3/04G01N21/47G02B3/08G02B5/00G02B27/00G02B27/12G02B13/00
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
ASML NETHERLANDS B.V.
Land
🇳🇱 Niederlande
🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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