Vacuum system for mitigating damage due to a vacuum pump malfunction

WO2022069420 Art A1 7. April 2022

Anmelder: ASML NETHERLANDS B.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2022069420
Aktenzeichen: EP21785827
Anmeldetag: 28. September 2021
Veröffentlichung: 7. April 2022
Rechtsraum: WO
IPC: F04D19/04F04D29/60F04D29/66

Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma: ASML NETHERLANDS B.V.
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

5.380 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Energie- & Antriebstechnik (Kraftmaschinen)

Vertreten von