Cleaning water supply device for electronic components and members, and method for supplying cleaning water for electronic components and members

WO2022070475 Art A1 7. April 2022

Anmelder: KURITA WATER INDUSTRIES LTD. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2022070475
Aktenzeichen
EP21874783
Anmeldetag
18. März 2021
Veröffentlichung
7. April 2022
Rechtsraum
WO
IPC
H01L21/304
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
KURITA WATER INDUSTRIES LTD.
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Kurita Water Industries

Japanisches Unternehmen mit Sitz in Tokio, spezialisiert auf Wasseraufbereitungstechnologien und Chemikalien für industrielle Anwendungen.

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