Wiring data generation device, drawing system, and wiring data generation method
WO2022070886
Art A1
7. April 2022
Anmelder: SCREEN HOLDINGS CO., LTD. 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO2022070886
- Aktenzeichen
- EP21875188
- Anmeldetag
- 14. September 2021
- Veröffentlichung
- 7. April 2022
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- G03F9/00G03F7/20G06F30/39
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- SCREEN HOLDINGS CO., LTD.
- Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
SCREEN Holdings
Japanischer Technologiekonzern. SCREEN Holdings stellt Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie her, insbesondere Wafer-Reinigungs- und Beschichtungssysteme, sowie Druck- und Bildverarbeitungstechnik.
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