Cleaning agent for gallium oxide substrates

WO2022070969 Art A1 7. April 2022

Anmelder: FUJIMI INCORPORATED 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2022070969
Aktenzeichen
EP21875271
Anmeldetag
17. September 2021
Veröffentlichung
7. April 2022
Rechtsraum
WO
IPC
B24B55/06C11D1/02C11D1/38C11D1/66C11D1/88H01L21/304
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
FUJIMI INCORPORATED
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Fujimi

Fujimi ist ein japanischer Hersteller von Poliermitteln, vor allem für die Halbleiterindustrie. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Farben und Klebstoffe sowie Halbleiterbauelemente und Fertigungstechnik. Anmeldungen sind seit 2000 dokumentiert.

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