Planarization process, planarization system and method of manufacturing an article

WO2022072067 Art A1 7. April 2022

Anmelder: CANON KABUSHIKI KAISHA 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2022072067
Aktenzeichen: EP21876180
Anmeldetag: 9. August 2021
Veröffentlichung: 7. April 2022
Rechtsraum: WO
IPC: B05C11/02B24B37/04B29C35/02H01L21/302H01L21/461

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: CANON KABUSHIKI KAISHA
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Canon

Japanischer Konzern mit Sitz in Tokio, der Kameras, Objektive, Drucker, Kopiergeräte sowie optische und medizinische Bildgebungstechnik entwickelt und herstellt.

19.221 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Kunststoff- & Polymertechnik Verfahrens- & Trenntechnik Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik

Vertreten von