Carrier transport system, carrier therefor, vacuum processing apparatus, and method of transportation of a carrier in a vacuum chamber

WO2022073613 Art A1 14. April 2022

Anmelder: APPLIED MATERIALS, INC. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2022073613
Aktenzeichen: EP20789090
Anmeldetag: 8. Oktober 2020
Veröffentlichung: 14. April 2022
Rechtsraum: WO
IPC: C23C14/56C23C14/24H01J37/32H01L21/677B65G49/06

Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma: APPLIED MATERIALS, INC.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

10.783 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik Verpackungs- & Fördertechnik

Vertreten von