Verfahren zur Bestimmung der Partikelbelastung einer Oberfläche

WO2022073917 Art A1 14. April 2022

Anmelder: CARL ZEISS SMT GMBH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2022073917
Aktenzeichen: EP21786895
Anmeldetag: 4. Oktober 2021
Veröffentlichung: 14. April 2022
Rechtsraum: WO
IPC: G01N1/28G01N1/02

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: CARL ZEISS SMT GMBH
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

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Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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