Production method for n-type silicon single crystal wafers
WO2022074970
Art A1
14. April 2022
Anmelder: SHIN-ETSU HANDOTAI CO., LTD. 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO2022074970
- Aktenzeichen
- EP21877273
- Anmeldetag
- 2. September 2021
- Veröffentlichung
- 14. April 2022
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- C30B15/00C30B33/00H01L21/304C30B29/06
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- SHIN-ETSU HANDOTAI CO., LTD.
- Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Shin-Etsu Handotai
Japanisches Unternehmen der Shin-Etsu-Gruppe, das Siliziumwafer für die Halbleiterindustrie herstellt.
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Vertreten von
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