Vaporization device, gas supply device and control method for gas supply device

WO2022075111 Art A1 14. April 2022

Anmelder: FUJIKIN INCORPORATED 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2022075111
Aktenzeichen: EP21877412
Anmeldetag: 27. September 2021
Veröffentlichung: 14. April 2022
Rechtsraum: WO
IPC: B01J4/00B01J7/00F17C7/04H01L21/205H01L21/31

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: FUJIKIN INCORPORATED
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Fujikin

Der Anmelder ist ein japanischer Hersteller von Fluidsteuerungs- und Ventiltechnik für die Halbleiterfertigung. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Maschinenelemente und Fluidtechnik sowie auf Steuerungs- und Regelungstechnik und Messtechnik. Anmeldungen laufen seit dem Jahr 2000 durchgehend fort.

452 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Maschinenelemente & Fluidtechnik Verfahrens- & Trenntechnik

Vertreten von