Polishing liquid composition for silicon oxide films

WO2022075179 Art A1 14. April 2022

Anmelder: KAO CORPORATION 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2022075179
Aktenzeichen: EP21877480
Anmeldetag: 30. September 2021
Veröffentlichung: 14. April 2022
Rechtsraum: WO
IPC: C09G1/02C09K3/14B24B37/00H01L21/304

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: KAO CORPORATION
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Kao

Japanischer Konsumgüter und Chemiekonzern mit Sitz in Tokio. Kao entwickelt Produkte und Technologien für Körperpflege, Kosmetik, Haushaltsreiniger sowie chemische Spezialstoffe.

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Fachgebiete

Farben, Klebstoffe & Brennstoffe Halbleiter & Elektrische Bauelemente Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik

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