Method for controlling an operating power of a vacuum pump, and vacuum pump

WO2022078738 Art A1 21. April 2022

Anmelder: PFEIFFER VACUUM 🇫🇷

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2022078738
Aktenzeichen
EP21777813
Anmeldetag
24. September 2021
Veröffentlichung
21. April 2022
Rechtsraum
WO
IPC
F04C23/00F04C25/02F04C28/28
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
PFEIFFER VACUUM
Land
🇫🇷 Frankreich
🇩🇪 Pfeiffer Vacuum

Deutsches Unternehmen, das Vakuumpumpen und Vakuumtechnik für Industrie, Forschung und Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt.

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