Substrate processing apparatus
WO2022080637
Art A1
21. April 2022
Anmelder: JUSUNG ENGINEERING CO., LTD. 🇰🇷
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO2022080637
- Aktenzeichen
- EP21880287
- Anmeldetag
- 6. August 2021
- Veröffentlichung
- 21. April 2022
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- C30B25/10C30B25/08C30B25/14
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- JUSUNG ENGINEERING CO., LTD.
- Land
- 🇰🇷 Südkorea
🇰🇷
Jusung Engineering
Jusung Engineering ist ein südkoreanischer Hersteller von Anlagen für die Halbleiter- und Displayfertigung. Das Patentportfolio konzentriert sich fast vollständig auf Halbleitertechnik, ergänzt durch Metallurgie und Elektronik. Die Anmeldungen decken den Zeitraum 2000 bis 2025 ab.
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