Methods and apparatus for prevention of component cracking using stress relief layer

WO2022081349 Art A1 21. April 2022

Anmelder: APPLIED MATERIALS, INC. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2022081349
Aktenzeichen: EP21880775
Anmeldetag: 30. September 2021
Veröffentlichung: 21. April 2022
Rechtsraum: WO
IPC: C23C16/44C23C16/458C23C4/11C23C4/134

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: APPLIED MATERIALS, INC.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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Fachgebiete

Metallurgie & Oberflächentechnik

Vertreten von