Residual Gas Analyser

WO2022083976 Art A1 28. April 2022

Anmelder: ASML NETHERLANDS B.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2022083976
Aktenzeichen: EP21783261
Anmeldetag: 27. September 2021
Veröffentlichung: 28. April 2022
Rechtsraum: WO
IPC: G01N27/64G01N27/62G01M3/20G01N33/00H01J49/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: ASML NETHERLANDS B.V.
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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