Apparatus for determining a distance, method for determining a distance, and lithography system

WO2022084150 Art A1 28. April 2022

Anmelder: CARL ZEISS SMT GMBH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2022084150
Aktenzeichen: EP21794514
Anmeldetag: 14. Oktober 2021
Veröffentlichung: 28. April 2022
Rechtsraum: WO
IPC: G01B11/14G03F7/20G01B9/02001G01B11/02

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: CARL ZEISS SMT GMBH
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

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Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik

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