Ceramic assembly, electrostatic chuck device, and method for manufacturing ceramic assembly

WO2022085307 Art A1 28. April 2022

Anmelder: SUMITOMO OSAKA CEMENT CO., LTD. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2022085307
Aktenzeichen: EP21882448
Anmeldetag: 31. August 2021
Veröffentlichung: 28. April 2022
Rechtsraum: WO
IPC: H02N13/00C04B37/00C04B35/117H01L21/683

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: SUMITOMO OSAKA CEMENT CO., LTD.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Sumitomo Osaka Cement

Sumitomo Osaka Cement ist ein japanisches Unternehmen, das neben klassischer Zementproduktion auch elektronische und optische Materialien für die Halbleiterindustrie herstellt. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Optik und Fototechnik sowie Halbleiter und elektrische Bauelemente, ergänzt durch anorganische Chemie und Werkstoffe. Anmeldungen erstrecken sich von 2000 bis 2025.

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Fachgebiete

Anorganische Chemie & Werkstoffe Elektrische Energietechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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