Piezo Position Control Flow Ratio Control

WO2022087306 Art A1 28. April 2022

Anmelder: APPLIED MATERIALS, INC. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2022087306
Aktenzeichen: EP21883926
Anmeldetag: 21. Oktober 2021
Veröffentlichung: 28. April 2022
Rechtsraum: WO
IPC: G05D7/06G05B11/36

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: APPLIED MATERIALS, INC.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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Fachgebiete

Steuerungs- & Regelungstechnik

Vertreten von