Magnetic fixture, substrate support assembly and method for fixing an edge support frame to a table frame
WO2022089746
Art A1
5. Mai 2022
Anmelder: APPLIED MATERIALS, INC. 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO2022089746
- Aktenzeichen
- EP20800100
- Anmeldetag
- 29. Oktober 2020
- Veröffentlichung
- 5. Mai 2022
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- H01L21/687G03F7/20
Abstract
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Anmelder
- Firma
- APPLIED MATERIALS, INC.
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Applied Materials
US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.
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