Magnetic fixture, substrate support assembly and method for fixing an edge support frame to a table frame

WO2022089746 Art A1 5. Mai 2022

Anmelder: APPLIED MATERIALS, INC. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2022089746
Aktenzeichen
EP20800100
Anmeldetag
29. Oktober 2020
Veröffentlichung
5. Mai 2022
Rechtsraum
WO
IPC
H01L21/687G03F7/20
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
APPLIED MATERIALS, INC.
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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