Vacuum tilting table and vacuum tilting table module for a substrate processing system and method for substrate loading and unloading in a vacuum processing system

WO2022090778 Art A1 5. Mai 2022

Anmelder: APPLIED MATERIALS, INC. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2022090778
Aktenzeichen: EP20959668
Anmeldetag: 30. Oktober 2020
Veröffentlichung: 5. Mai 2022
Rechtsraum: WO
IPC: H01L51/56H01L51/00C23C14/56C23C14/50H01L21/677H01L21/68H01L21/683H01L21/67

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: APPLIED MATERIALS, INC.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

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