Position displacement detection method, position displacement detection device, positioning device, and inspection device

WO2022091927 Art A1 5. Mai 2022

Anmelder: SCREEN HOLDINGS CO., LTD. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2022091927
Aktenzeichen: EP21886046
Anmeldetag: 21. Oktober 2021
Veröffentlichung: 5. Mai 2022
Rechtsraum: WO
IPC: G01B11/00G01N21/95

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: SCREEN HOLDINGS CO., LTD.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 SCREEN Holdings

Japanischer Technologiekonzern. SCREEN Holdings stellt Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie her, insbesondere Wafer-Reinigungs- und Beschichtungssysteme, sowie Druck- und Bildverarbeitungstechnik.

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Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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