Optical component for deep ultraviolet light source

WO2022093527 Art A1 5. Mai 2022

Anmelder: CYMER, LLC 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2022093527
Aktenzeichen: EP21815299
Anmeldetag: 12. Oktober 2021
Veröffentlichung: 5. Mai 2022
Rechtsraum: WO
IPC: G02B5/08G02B5/28G02B27/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: CYMER, LLC
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Cymer

Cymer ist ein US-amerikanisches Unternehmen für Lichtquellen zur Halbleiterlithografie, das zum ASML-Konzern gehört. Das Patentportfolio konzentriert sich sehr stark auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Optik und Fototechnik. Anmeldungen laufen kontinuierlich seit dem Jahr 2000.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik

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