Selective deposition of a passivation film

WO2022093804 Art A1 5. Mai 2022

Anmelder: NATIONAL UNIVERSITY OF SINGAPORE, APPLIED MATERIALS, INC. 🇸🇬

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2022093804
Aktenzeichen: EP21887329
Anmeldetag: 26. Oktober 2021
Veröffentlichung: 5. Mai 2022
Rechtsraum: WO
IPC: C23C16/04C23C16/455H01L21/285H01L21/02B05D1/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: NATIONAL UNIVERSITY OF SINGAPORE
APPLIED MATERIALS, INC.
Land: 🇸🇬 Singapur

🇸🇬 National University of Singapore

Staatliche Universität in Singapur, eine der größten und international bestbewerteten Hochschulen Asiens. Sie ist in Forschung und Lehre breit aufgestellt, mit starken Ingenieur- und Naturwissenschaftsfakultäten.

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🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik Verfahrens- & Trenntechnik

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