Reflective compact lens for magneto-optic kerr effect metrology system

WO2022094159 Art A1 5. Mai 2022

Anmelder: KLA CORPORATION 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2022094159
Aktenzeichen
EP21887573
Anmeldetag
28. Oktober 2021
Veröffentlichung
5. Mai 2022
Rechtsraum
WO
IPC
G01N21/88G01N21/95G01N21/956G01B11/24G02B17/06G02B5/10H01L21/66
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
KLA CORPORATION
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 KLA Corporation

US-amerikanisches Unternehmen (frühere Firmierung KLA-Tencor), das Prozesskontroll- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung entwickelt.

1.908 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik

Vertreten von

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