Fluorine Based Molecular Co-Gas When Running Dimethylaluminum Chloride As A Source Material To Generate an Aluminum Ion Beam

WO2022094381 Art A1 5. Mai 2022

Anmelder: AXCELIS TECHNOLOGIES, INC. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2022094381
Aktenzeichen: EP21815038
Anmeldetag: 1. November 2021
Veröffentlichung: 5. Mai 2022
Rechtsraum: WO
IPC: H01J37/08H01J37/317H01J27/08

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: AXCELIS TECHNOLOGIES, INC.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Axcelis Technologies

Axcelis Technologies, Inc. ist ein US-amerikanischer Hersteller von Ionenimplantationsanlagen für die Halbleiterfertigung mit Sitz in Beverly, Massachusetts. Das Patentportfolio ist fast vollständig auf Halbleiter und elektrische Bauelemente konzentriert, ergänzt um Oberflächentechnik und Mess- und Prüftechnik. Das Unternehmen meldet durchgehend seit 2000 an.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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