Heating an optical element of a microlithographic projection exposure apparatus

WO2022096171 Art A1 12. Mai 2022

Anmelder: CARL ZEISS SMT GMBH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2022096171
Aktenzeichen: EP21769898
Anmeldetag: 23. August 2021
Veröffentlichung: 12. Mai 2022
Rechtsraum: WO
IPC: G03F7/20G02B7/18

Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma: CARL ZEISS SMT GMBH
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

2.391 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Optik & Fototechnik

Vertreten von