Verfahren zum Klassifizieren von Unbekannten Partikeln auf einer Oberfläche einer Halbleiterscheibe
WO2022096318
Art A1
12. Mai 2022
Anmelder: SILTRONIC AG 🇩🇪
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO2022096318
- Aktenzeichen
- EP21799271
- Anmeldetag
- 26. Oktober 2021
- Veröffentlichung
- 12. Mai 2022
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- G01N15/02G01N15/14G01N21/95G01N23/2273G01N23/2252
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- SILTRONIC AG
- Land
- 🇩🇪 Deutschland
🇩🇪
Siltronic
Deutscher Halbleiterzulieferer mit Sitz in München. Siltronic stellt hochreine Siliziumwafer für die Chip- und Elektronikindustrie her.
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