Carrier transport system, magnetic stabilization unit, carrier, and method for contactlessly transporting a carrier

WO2022100857 Art A1 19. Mai 2022

Anmelder: APPLIED MATERIALS, INC. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2022100857
Aktenzeichen: EP20807383
Anmeldetag: 13. November 2020
Veröffentlichung: 19. Mai 2022
Rechtsraum: WO
IPC: F16C32/04C23C14/56C23C16/458C23C14/04B65G49/06H01L21/677C23C16/44B65G54/02C23C14/50H01J37/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: APPLIED MATERIALS, INC.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Maschinenelemente & Fluidtechnik Metallurgie & Oberflächentechnik Verpackungs- & Fördertechnik

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