Measurement system and method of use

WO2022100930 Art A1 19. Mai 2022

Anmelder: ASML NETHERLANDS B.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2022100930
Aktenzeichen: EP21787383
Anmeldetag: 5. Oktober 2021
Veröffentlichung: 19. Mai 2022
Rechtsraum: WO
IPC: G03F7/20G01J9/02G01M11/02

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: ASML NETHERLANDS B.V.
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik

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