Vakuumprozesssystem, Stützstruktur und Verfahren zum Transportieren eines Substrats

WO2022101468 Art A2 19. Mai 2022

Anmelder: APPLIED MATERIALS, INC. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2022101468
Aktenzeichen: EP21811327
Anmeldetag: 15. November 2021
Veröffentlichung: 19. Mai 2022
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/67H01L21/673H01L21/677C23C14/56C23C16/44C23C16/54

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: APPLIED MATERIALS, INC.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

Vertreten von