Organic tin compound, method for producing same, liquid composition for forming euv resist film using same, and method for forming euv resist film

WO2022102636 Art A1 19. Mai 2022

Anmelder: MITSUBISHI MATERIALS CORPORATION, MITSUBISHI MATERIALS ELECTRONIC CHEMICALS CO., LTD. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2022102636
Aktenzeichen: EP21891882
Anmeldetag: 10. November 2021
Veröffentlichung: 19. Mai 2022
Rechtsraum: WO
IPC: C07F7/22G03F7/004

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: MITSUBISHI MATERIALS CORPORATION
MITSUBISHI MATERIALS ELECTRONIC CHEMICALS CO., LTD.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Mitsubishi Materials

Japanisches Unternehmen der Mitsubishi-Gruppe mit Sitz in Tokio, tätig in der Verarbeitung von Metallen und Werkstoffen, unter anderem Kupfer, Zement, Hartmetallwerkzeuge und elektronische Materialien.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik Organische Chemie

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