Platinum-base sputtering target and manufacturing method thereof

WO2022102765 Art A1 19. Mai 2022

Anmelder: TOHOKU UNIVERSITY, TANAKA KIKINZOKU KOGYO K.K. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2022102765
Aktenzeichen
EP21892010
Anmeldetag
15. November 2021
Veröffentlichung
19. Mai 2022
Rechtsraum
WO
IPC
C23C14/34C22C5/04C22F1/00C22F1/14
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
TOHOKU UNIVERSITY
TANAKA KIKINZOKU KOGYO K.K.
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Tohoku University

Staatliche Universität in Sendai, Japan, mit Forschungsschwerpunkten unter anderem in Materialwissenschaften und Werkstofftechnik.

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