Turbomolecular vacuum pump and method for manufacturing a rotor

WO2022106075 Art A1 27. Mai 2022

Anmelder: PFEIFFER VACUUM 🇫🇷

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2022106075
Aktenzeichen
EP21735278
Anmeldetag
23. Juni 2021
Veröffentlichung
27. Mai 2022
Rechtsraum
WO
IPC
F04D19/04F04D29/32F04D29/38
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
PFEIFFER VACUUM
Land
🇫🇷 Frankreich
🇩🇪 Pfeiffer Vacuum

Deutsches Unternehmen, das Vakuumpumpen und Vakuumtechnik für Industrie, Forschung und Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt.

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