Semiconductor charged particle detector for microscopy

WO2022106161 Art A1 27. Mai 2022

Anmelder: ASML NETHERLANDS B.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2022106161
Aktenzeichen: EP21801119
Anmeldetag: 26. Oktober 2021
Veröffentlichung: 27. Mai 2022
Rechtsraum: WO
IPC: H01J37/244G01T1/24

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: ASML NETHERLANDS B.V.
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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