Verfahren und Vorrichtung zur Inspektion einer Schweißnaht in einer Baugruppe eines Optischen Systems für die Mikrolithographie
Anmelder: Carl Zeiss SMT GmbH, Carl Zeiss AG, Carl Zeiss Industrielle Messtechnik GmbH 🇩🇪
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO2022111889
- Aktenzeichen
- EP21790105
- Anmeldetag
- 1. Oktober 2021
- Veröffentlichung
- 2. Juni 2022
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- G01N23/046G03F7/20
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- Carl Zeiss SMT GmbH
Carl Zeiss AG
Carl Zeiss Industrielle Messtechnik GmbH - Land
- 🇩🇪 Deutschland
Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.
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Carl Zeiss ist ein deutscher Hersteller von optischen und optoelektronischen Systemen mit Sitz in Oberkochen. Das Patentportfolio konzentriert sich klar auf Optik und Fototechnik sowie Mess- und Prüftechnik, ergänzt durch Medizintechnik und Software für bildgebende Anwendungen. Anmeldungen reichen von 2000 bis in die Gegenwart.
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Deutsches Unternehmen der Zeiss-Gruppe, spezialisiert auf industrielle Messtechnik, darunter Koordinatenmessgeräte und Sensoren zur präzisen Vermessung von Bauteilen in Fertigung und Qualitätssicherung.
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