Pressure sensing unit, vacuum system and method

WO2022112755 Art A1 2. Juni 2022

Anmelder: EDWARDS LIMITED 🇬🇧

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2022112755
Aktenzeichen: EP21819189
Anmeldetag: 24. November 2021
Veröffentlichung: 2. Juni 2022
Rechtsraum: WO
IPC: G01L9/00G01L19/12G01L21/00F04D15/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: EDWARDS LIMITED
Land: 🇬🇧 Großbritannien

🇬🇧 Edwards Limited

Britischer Hersteller von Vakuumpumpen und Abgasbehandlungssystemen mit Sitz in Burgess Hill, Teil des Atlas Copco Konzerns. Patente betreffen Vakuumtechnik für Halbleiter- und Industrieanwendungen.

612 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Energie- & Antriebstechnik (Kraftmaschinen) Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

Vertreten von