Nozzle, development device, and method for processing object being treated

WO2022113374 Art A1 2. Juni 2022

Anmelder: SINTOKOGIO, LTD. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2022113374
Aktenzeichen: EP20963637
Anmeldetag: 14. Dezember 2020
Veröffentlichung: 2. Juni 2022
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/304B05B15/00B05B7/04

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: SINTOKOGIO, LTD.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Sintokogio, Ltd.

Japanischer Hersteller von Gießerei- und Industrieanlagen (Formmaschinen, Oberflächenbehandlungstechnik) mit Sitz in Nagoya. Patente betreffen Gieß- und Fertigungstechnik.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Verfahrens- & Trenntechnik

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