Plasma treatment device

WO2022113676 Art A1 2. Juni 2022

Anmelder: NISSIN ELECTRIC CO., LTD. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2022113676
Aktenzeichen
EP21897652
Anmeldetag
4. November 2021
Veröffentlichung
2. Juni 2022
Rechtsraum
WO
IPC
H05H1/46H01L21/3065H01L21/31C23C16/505
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
NISSIN ELECTRIC CO., LTD.
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Nissin Electric

Nissin Electric ist ein japanischer Hersteller elektrischer Anlagen und Halbleiterfertigungsausrüstung mit Sitz in Kyoto. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleitertechnik und Metallurgie, ergänzt durch Schaltungs- und Energietechnik. Die Anmeldungen stammen aus den Jahren 2000 bis 2025.

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