Radiation-sensitive resin composition, method for forming pattern, and onium salt compound

WO2022113814 Art A1 2. Juni 2022

Anmelder: JSR CORPORATION 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2022113814
Aktenzeichen: EP21897788
Anmeldetag: 16. November 2021
Veröffentlichung: 2. Juni 2022
Rechtsraum: WO
IPC: C07C65/10C07C309/12C07C309/17C07C381/12C07D207/16C07D211/60C07D211/62C07D327/06C07D333/76C07D405/12C07D491/113C09K3/00G03F7/004G03F7/038G03F7/039G03F7/20

Offizieller Volltext

Abstract

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Firma: JSR CORPORATION
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 JSR Corporation

JSR Corporation ist ein japanisches Chemieunternehmen, das synthetische Kautschuke sowie Materialien für die Halbleiter- und Displayindustrie herstellt.

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Fachgebiete

Farben, Klebstoffe & Brennstoffe Optik & Fototechnik Organische Chemie

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