Method and apparatus for imaging nonstationary object

WO2022117325 Art A1 9. Juni 2022

Anmelder: ASML NETHERLANDS B.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2022117325
Aktenzeichen: EP21811338
Anmeldetag: 16. November 2021
Veröffentlichung: 9. Juni 2022
Rechtsraum: WO
IPC: G03F7/20G03F9/00G01N21/956G02B27/64G03F1/84

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: ASML NETHERLANDS B.V.
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik

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