Semiconductor laser inspection apparatus and semiconductor laser inspection method

WO2022118444 Art A1 9. Juni 2022

Anmelder: MITSUBISHI ELECTRIC CORPORATION 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2022118444
Aktenzeichen: EP20964296
Anmeldetag: 3. Dezember 2020
Veröffentlichung: 9. Juni 2022
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/66G01R31/26G01R31/28G01R31/302

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: MITSUBISHI ELECTRIC CORPORATION
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Mitsubishi Electric

Japanisches Unternehmen, das Elektro- und Elektroniktechnik entwickelt und herstellt, darunter Automatisierung, Energie-, Klima- und Fahrzeugtechnik.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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