Deep learning based adaptive alignment precision metrology for digital overlay

WO2022119796 Art A1 9. Juni 2022

Anmelder: APPLIED MATERIALS, INC. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2022119796
Aktenzeichen: EP21901300
Anmeldetag: 30. November 2021
Veröffentlichung: 9. Juni 2022
Rechtsraum: WO
IPC: G03F9/00G03F7/20G06N3/08H04N7/18H04N9/31

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: APPLIED MATERIALS, INC.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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Fachgebiete

Nachrichtentechnik & Telekommunikation Optik & Fototechnik Software & Datenverarbeitung

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