Metrology system and coherence adjusters

WO2022122560 Art A1 16. Juni 2022

Anmelder: ASML NETHERLANDS B.V., ASML HOLDING N.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2022122560
Aktenzeichen: EP21835982
Anmeldetag: 2. Dezember 2021
Veröffentlichung: 16. Juni 2022
Rechtsraum: WO
IPC: G01N21/95G01N21/956G02B6/36G02B6/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: ASML NETHERLANDS B.V.
ASML HOLDING N.V.
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik

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