Thermal spray material, thermal spray film, method for forming thermal spray film, and component for plasma etching device

WO2022124044 Art A1 16. Juni 2022

Anmelder: TOCALO CO., LTD., FUJIMI INCORPORATED 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2022124044
Aktenzeichen: EP21903148
Anmeldetag: 18. November 2021
Veröffentlichung: 16. Juni 2022
Rechtsraum: WO
IPC: C23C4/04H01L21/3065

Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firmen: TOCALO CO., LTD.
FUJIMI INCORPORATED
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Fujimi

Fujimi ist ein japanischer Hersteller von Poliermitteln, vor allem für die Halbleiterindustrie. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Farben und Klebstoffe sowie Halbleiterbauelemente und Fertigungstechnik. Anmeldungen sind seit 2000 dokumentiert.

511 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

Vertreten von