Illumination optical system, exposure device, and method for manufacturing article

WO2022124211 Art A1 16. Juni 2022

Anmelder: CANON KABUSHIKI KAISHA 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2022124211
Aktenzeichen: EP21903315
Anmeldetag: 3. Dezember 2021
Veröffentlichung: 16. Juni 2022
Rechtsraum: WO
IPC: G02B19/00G03F7/20G02B3/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: CANON KABUSHIKI KAISHA
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Canon

Japanischer Konzern mit Sitz in Tokio, der Kameras, Objektive, Drucker, Kopiergeräte sowie optische und medizinische Bildgebungstechnik entwickelt und herstellt.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik

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