Method for estimating oxygen concentration in silicon single crystal, method for producing silicon single crystal, and apparataus for producing silicon single crystal

WO2022124259 Art A1 16. Juni 2022

Anmelder: SUMCO CORPORATION 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2022124259
Aktenzeichen: EP21903360
Anmeldetag: 6. Dezember 2021
Veröffentlichung: 16. Juni 2022
Rechtsraum: WO
IPC: C30B29/06C30B15/22C30B30/04

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: SUMCO CORPORATION
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Sumco

Sumco ist ein japanischer Hersteller von Siliziumwafern für die Halbleiterindustrie. Das Patentportfolio konzentriert sich entsprechend auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Metallurgie- und Fertigungstechnik. Anmeldungen sind von 2000 bis in die Gegenwart belegt.

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Fachgebiete

Metallurgie & Oberflächentechnik

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